操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头停止衔接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,消费节拍快,检漏精度高。
工艺流程
A1:装置工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;
B1:若A1检测不经过,则系统报警,大漏工件序号显现-----检测程序中止;
B2:若A1检测经过,放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空形式,微漏检测;
C1:若B2检测不经过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显现------检测程序中止;
C2:若B2检测经过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。