使用气密性测漏仪的必要性

引见运用气密性测漏仪的必要性

　　真空体系请求取得并坚持真空状态，假设存在严重的漏气则是体系的严重缺陷，那么就需求停止相关的真空检漏。

　　透气和漏气的实质不同。透气是气体从密度大的一侧向密度小的一侧进入、分散、经过和逸出的过程，任何资料都有必定的渗透率。漏气是由于资料本身的缺陷或封口部不良，招致气体分子从高压侧流向低压侧的现象。还有一种状况是常温下不发作漏气，但温度变化时由热收缩系数的差别也可能招致漏气。图1是影响体系真空度的气体来源表示图。

　严厉地讲，任何真空体系都有漏气现象存在，漏气是肯定的。针对不同的真空体系，能够允许有必定的漏率。目前的真空技术，能够确保超高真空体系的允许漏率≤1.33×10 -11 Pa.m3/s。

　　真空检漏曾经成为真空体系制造和运用中不行短少的环节。真空检漏的方法多种多样，具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。